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產品詳情
  • 產品名稱:曝光機參數 MA-6801ML 日本曝光機 DNK大日本科研 光敏曝光機

  • 產品型號:MA-6801ML
  • 產品廠商:日本DNK大日本科研
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簡單介紹:
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詳情介紹:

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 DSMRO012






這是一種垂直接近式曝光機,通過使掩模和基板垂直來減少偏轉。它還支持內嵌水平輸送式前后處理設備。

主要特點
  • 垂直放置掩模架/基板臺。掩模/掩模支架/基板臺自重偏轉校正變得不必要,實現了簡單和穩定的裝置。
  • 新通過該光學系統的,變得小于一半二偏角通常影響圖案轉印精度(相),更高的準確度可以是圖案轉移。
  • 完全分離主機和光源單元。通過不將光源的熱量傳遞至主體的結構,主體的熱量分布得以改善。
  • 為了防止由于掩模和玻璃基板的溫度差異引起的膨脹和收縮,可以選擇基板臺溫度控制和掩模冷卻系統。(可選)
  • *大的電路板尺寸是1,200毫米×1,400毫米。而且,可以用獨特的光學系統進行統一的一體式曝光。
  • 可以安裝能夠存儲5個掩模的掩模庫。
主要規格
  MA-6701ML MA-6801ML MA-6131ML
底物大小 550 x 650毫米 650 x 750毫米 1100 x 1300毫米
面膜大小 620 x 720 x t 8.0毫米 700 x 800 x t 8.0毫米  1200 x 1400 x t 4.8毫米
對準 非接觸預校準?可以自動校準
差距 具有感應功能
光源 超高壓汞燈:8千瓦 超高壓汞燈:8千瓦 超高壓汞燈:18千瓦
外部尺寸和重量 身體尺寸 W 3500×D 2720×H 2700毫米 W4150×D3200×H2900毫米 W 11300×D 7060×H 3350mm
體重 3500公斤 3800公斤 12700公斤
光源重量 800公斤 1150公斤 4200公斤
選項 面罩冷卻,基板平臺溫度控制,熱室,特殊對準照明
使用 觸摸屏,彩色濾光片,有機EL,C-STN,電子紙等













電商集團(中國)有限公司成立于2009年,是香港電商集團在中國的全資分公司,位于深圳市南山前海金融區,注冊資本壹億元,主營業務涵蓋國際貿易、婦嬰用品、醫遼、汽車、酒店、百貨、投資理財、互聯網等領域。集團在香港已建立完善的渠道網絡,豐富的領域資源,密切的政府協作,三大方面保障了公司業務的順利發展。秉承行業多元化,水準國際化,服務專業化三化服務理念,利用其國際化的專業知識體系、精細化的服務流程、高性能的服務水準,為客戶提供高性價比的產品和全方位立體化解決方案。集團的采購商品來自美國、德國、瑞士、法國、意大利、日本、韓國,并建立了分公司,從而取得優勢的產品貨源,以及*即時的產品訊息。集團服務客戶已超過萬家,并獲得了百家國際品牌授權代理。   

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