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電商MRO供應鏈德國optrisc歐普士單體紅外測溫儀CSmicro*小的傳感頭可實現光刻中的準確、高效的溫度監測

日期:2025-05-01 05:16
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摘要:*小的傳感頭可實現光刻中的準確、高效的溫度監測 為了避免干擾敏感的制造過程,必須以非直接接觸的方式測量晶圓的表面溫度。保持均勻的溫度分布對于實現光刻膠的均勻層厚度至關重要,并且必須直接在物體上測量。為此,使用具有長波光譜范圍(8 μm -14 μm)的高溫計。考慮到通常狹窄的空間條件,傳感器必須盡可能緊湊,以確保可以正確定位,*好垂直于晶圓表面。 CSmicro 是*緊湊的紅外傳感器系列,具有*小的傳感器頭,是此應用的理想選擇。CSmicro 系列由 Optris 制造,因其堅固的設計和高精度而脫穎而出。它具有微型傳感器頭,可以輕...
*小的傳感頭可實現光刻中的準確、高效的溫度監測
為了避免干擾敏感的制造過程,必須以非直接接觸的方式測量晶圓的表面溫度。保持均勻的溫度分布對于實現光刻膠的均勻層厚度至關重要,并且必須直接在物體上測量。為此,使用具有長波光譜范圍(8 μm -14 μm)的高溫計。考慮到通常狹窄的空間條件,傳感器必須盡可能緊湊,以確保可以正確定位,*好垂直于晶圓表面。
CSmicro 是*緊湊的紅外傳感器系列,具有*小的傳感器頭,是此應用的理想選擇。CSmicro 系列由 Optris 制造,因其堅固的設計和高精度而脫穎而出。它具有微型傳感器頭,可以輕松集成到狹窄空間中,非常適合半導體制造環境。CSmicro 傳感器能夠測量從 -40 °C 到 1030 °C 的溫度,為制造過程的各個階段提供靈活性。
此外,CSmicro 傳感器具有快速響應時間,可確保實時溫度監控和控制。這種快速反饋對于保持光刻所需的嚴格溫度公差至關重要。溫度信號通過模擬信號傳輸到 PLC,從而可以無縫集成到現有的過程控制系統中。CSmicro 的先進光學元件和高質量校準可確保準確可靠的測量,有助于提高半導體制造中的工藝穩定性和產品質量。



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2025/4/22

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